一、產(chǎn)品簡介
ATM240/L霧化氣溶膠發(fā)生器用于從PSL懸浮液（聚苯乙烯乳膠粒子）中產(chǎn)生干燥的PSL測試氣溶膠。
在許多過濾器測試標(biāo)準(zhǔn)中，建議使用低蒸汽壓的液體（如DEHS、PAO或石蠟油）來測試氣溶膠的產(chǎn)生，以獲得足夠長的液滴壽命。然而，在某些情況下或?qū)τ?/span>一些材料，此類試驗(yàn)氣溶膠不適用。這有兩個原因：使用這些氣溶膠測試的過濾器會逐漸釋放出可導(dǎo)致關(guān)鍵區(qū)域污染的測試物質(zhì)（特別是在半導(dǎo)體和航空航天行業(yè)）。此外，由于化學(xué)作用，氣溶膠可導(dǎo)致過濾材料的結(jié)構(gòu)變化（例如，DEHS與PTFE的組合）。通過使用固體氣溶膠，可以消除這些缺點(diǎn)。為此，通常建議使用由單分散聚苯乙烯乳膠顆粒組成的氣溶膠（ISO 29463-3、ISO 29463-4、EN 1822-4）。
圖1 霧化氣溶膠發(fā)生器ATM 240/L（用于產(chǎn)生高濃度PSL氣溶膠）
二、應(yīng)用
l 用惰性固體氣溶膠測試PTFE膜
l 測試航空航天和半導(dǎo)體行業(yè)的特殊過濾器
l 根據(jù)ISO 29464-4（原EN 1822-4）附錄D對HEPA過濾器進(jìn)行泄漏測試
l 生成由單分散聚苯乙烯乳膠球組成的測試氣溶膠
三、特性
l 與其他氣溶膠發(fā)生器相比，此發(fā)生器產(chǎn)生具有低擴(kuò)散體積的高濃度PSL試驗(yàn)氣溶膠
l 集成的氣溶膠干燥，最大限度地減少對額外技術(shù)設(shè)備的需求
l 單個測試啟動/停止操作
四、工作原理
ATM 240/L配備了渦流狹縫噴嘴，該噴嘴供應(yīng)氣溶膠物質(zhì)（PSL分散體）和壓縮空氣。從噴嘴狹縫處出來的液滴氣溶膠中，粗液滴最初由于慣性而分離。更細(xì)的液滴通過特殊的渦流環(huán)分布在氣溶膠腔室中。壓縮空氣將逐漸干燥的氣溶膠帶走。在離開發(fā)生器之前，氣溶膠顆粒會暴露在干燥空氣中，以確保在發(fā)生器出口處形成干燥穩(wěn)定的氣溶膠。
圖2 ATM240/L霧化發(fā)生器的工作原理
五、詳細(xì)說明
PSL分散體/懸浮液的噴霧和干燥不僅會產(chǎn)生所需的PSL顆粒，還會產(chǎn)生干燥殘留物，這歸因于PSL分散體/懸浮液的穩(wěn)定劑。由于它們的尺寸小（<100 nm），這些殘留物無法用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器檢測到，因此與過濾器測試無關(guān)。
圖3 PSL試驗(yàn)氣溶膠（178nm，5wt.-%水分散體）的粒徑分布，包括納米范圍（<100 nm）內(nèi)的
細(xì)顆粒物（干燥殘留物）和光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器相關(guān)范圍內(nèi)的PSL峰值（通過微分電遷移率分析檢測）
試驗(yàn)氣溶膠的性質(zhì)主要取決于所用PSL原料分散液和樣品制備。如果樣品中存在團(tuán)聚體（雙團(tuán)聚體、三團(tuán)聚體）并干擾分析，則可在使用前通過超聲波對分散體/懸浮液進(jìn)行處理。一旦樣品分散，PSL顆粒在分散/懸浮液中成為個體顆粒。
六、配件（可選）
l EAN581，用于氣溶膠的靜電中和
l UDS751，用于PSL懸浮液超聲分散
七、技術(shù)參數(shù)
設(shè)定參數(shù) | 噴嘴壓力 |
設(shè)定范圍 | 750～2500hPa |
分辨率 | 連續(xù) |
流量 | 10～24m3/h |
質(zhì)量流量 | 130 g/h（發(fā)散） |
粒子產(chǎn)生速率 ＜0.1um | 5%(w/w),PSL,178nm ≤4×109 #/s |
氣溶膠物質(zhì) | PSL分散體 |
粒徑范圍 | 0.05～0.75um（取決于氣溶膠物質(zhì)） |
容積 | 100～400mL |
氣溶膠出口 | φ25.4mm（內(nèi)部） |
電源 | 24V,2A |
功耗 | ＜5W |
壓縮空氣 | 6 bar, 25 m3/h,（除油干燥） |
尺寸(w×h×d) | 900×400×300 mm |
重量 | 25kg |
依據(jù)標(biāo)準(zhǔn) | VDI 3491-2, DIN EN 1822-4 |
